auto seAuto SE相調制橢圓偏振光譜儀：
概要
特征
薄膜分析變得輕松簡單
高性能系統
的光斑可視系統(技術)
多種附件選擇
 
技術參數：
光譜范圍：440-858nm

光斑尺寸： 500 μm x 750 μm; 500 μm x 500 μm; 250 μm x 500 μm; 250 μm x 250 μm; 70 μm x 250 μm; 100 μm x 100 μm; 50 μm x 60 μm; 25 μm x 60 μm

測試時間：通常為5秒，快可小于1秒
 
度：NIST 1000 ? SiO2 /Si: d ± 4 ? - n(632.8 nm) ± 0.002， Fused silica: n ± 0.004

觀測樣品： CCD-視場范圍1.33*1mm，分辨率1μm

重復性：± 0.2 ?  (測試條件 NIST 150 ? SiO2 /Si )

樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動調節；真空檢測；Z軸高度50mm

探測器：CCD-分辨率：2nm

測角儀：固定在70度，可預設為66度或者61.5度