原裝進口EBARA 荏原 TND 濕式廢氣處理器
原裝進口EBARA 荏原 TND 濕式廢氣處理器
TND 型是一種燃燒式廢氣處理系統,采用的燃燒方法,實現低 NOx 和低 CO 排放。 通過各種腐蝕和副產品對策,實現了比傳統產品多 3 倍以上的維護間隔,并且采用耗電量少的低運行成本方法,可以以較低的成本使用。 產品陣容包括 TND-Single 型燃燒型 + 凈水機和 TND-Single Plus 型預清洗 + 燃燒型 + 凈水機。 即使在具有許多副產品的工藝中,也能實現低運行成本和高效加工。
TND
低 NOx 和豐富的反應副產物對策,燃燒式廢氣處理系統,降低維護成本
產品介紹
規范
型
單位
TND-單 A1-A4/ TND-單 P1~P4
TND-單加-A1~A4/P1~P4
加工方法
燃燒 + 濕式
濕式 + 燃燒式 + 濕式
*進氣量
升/分鐘
200 (每個端口)
200 (每個端口)
400 (每單位)
400 (每單位)
燃料
城市燃氣/丙烷氣選擇
城市燃氣/丙烷氣選擇
大小
寬 x 深 x 高 mm
1,200 x 650 x 1,980
1,200 x 650 x 1,980
可處理氣體示例
工藝(倉庫)氣體
SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。
一般
清洗氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。
一般
蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
工藝(庫)氣體
WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等
一般
清潔氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般
蝕
刻氣體 HBr、Cl2PFC
如
SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6、CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。
標準設備
用于除粉的水清潔機制
前級粉末收集機構
除粉 vernas 刮刀
除粉 vernas 刮刀
選擇
市政水和廢水消耗減少裝置
市政水和廢水消耗減少裝置
粉體減排風機洗滌器
粉體減排風機洗滌器
儀器相關:
山高SANKO(代理)、東機產業TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、東日技研DIT(代理)、杉山電機SUGIYAMA(代理)、愛安德AND(廠家合作)、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA(代理)
備件設備相關:
柴田SIBATA(代理)、 壺坂TSUBOSAKA(代理)、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口電熱SAKAGUCHI(代理)、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(廠家合作)、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關:
巖崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰寫速CCS(代理)、萊寶克斯REVOX(代理)、索萊克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龍FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制:
SIEMENS西門子(廠家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON歐姆龍(廠家合作)、基恩士KEYENCE(廠家合作)
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