北崎供應EBARA 荏原 G6-E P1-P4 燃燒式廢氣處理
北崎供應EBARA 荏原 G6-E P1-P4 燃燒式廢氣處理
G6-E 型是一種燃燒式廢氣處理系統，適用于處理半導體制造過程中外延生長設備中使用的含有高流量氫氣和氯氣的廢氣。 緊湊的設計能夠進行高達 200 L/min 的氫氣處理，還支持同時處理氫氣和氯氣。 標配副產品去除功能，降低了維護成本和負載。
| 型 | 單位 | G6-E A1~A4 | G6-E P1~P4 |
| 加工方法 | 燃燒 + 濕式 | 燃燒 + 濕式 | |
| *進氣量 | 升/分鐘 | 400 | 400 |
| 燃料 | 城市燃氣 | 丙烷氣 | |
| 大小 | 寬 x 深 x 高 mm | 1,200×650×1,900 毫米 | 1,200×650×1,900 毫米 |
| H? *流速 | 升/分鐘 | 200 | 200 |
| 可處理氣體示例 |
工藝（倉庫）氣體 H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6 等。 一般 清洗氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。 蝕刻氣體一般 為 HBr， Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 |
工藝（倉庫）氣體 H2、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6 等。 一般 清洗氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。 蝕刻氣體一般 為 HBr， Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 |
|
| 標準設備 | 大流量 H2 加工燃燒器 | 大流量 H2 加工燃燒器 | |
| 除粉 vernas 刮刀 | 除粉 vernas 刮刀 | ||
| 選擇 | 市政水和廢水消耗減少裝置 | 市政水和廢水消耗減少裝置 | |
| 粉體減排風機洗滌器 | 粉體減排風機洗滌器 | ||
在手機上查看
京公網安備 11010802023672號
溫馨提示：為規避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。